一、原理

　　采用的是分子撞擊式氣體輸送原理，該原理與傳統離心式或正壓式氣體輸送方式不同。具體來(lái)說(shuō)，通過(guò)生成多個(gè)驅動(dòng)分子束，使得氣體在管道中沿著(zhù)相同方向運動(dòng)，消除了傳統壓力差產(chǎn)生的氣體抗力，從而實(shí)現低壓差、高流量的氣體輸送。

 

　　二、結構

　　平流泵主要由發(fā)生器、排氣器、氣流引導管和控制系統等部件組成。其中，發(fā)生器是核心部件，它包括了多個(gè)聚焦電極和大量特殊材料制成的三角錐形驅動(dòng)體，通過(guò)加熱和脈沖電壓激勵的方式，使驅動(dòng)體產(chǎn)生碰撞，并帶動(dòng)氣體運動(dòng)。排氣器則是用于將氣體排出的部件，它通常被設計為集成在發(fā)生器內部或與發(fā)生器直接相連。氣流引導管則用于引導氣體流動(dòng)，并保持其穩定運行?？刂葡到y則負責對各項參數進(jìn)行實(shí)時(shí)監控和調節。

 

　　三、性能

　　相比傳統的壓差式氣體輸送方式，具有許多*的性能特點(diǎn)。

 

　　它能夠產(chǎn)生極低的壓力差，從而減少氣體抗力，提高了氣體輸送效率；

 

　　能夠實(shí)現高流量的氣體移動(dòng)，這使得它在大型工業(yè)設備的氣體輸送中具有很好的應用前景；

 

　　還能夠處理低密度氣體，如氫氣、氦氣等，在科研領(lǐng)域中也有著(zhù)廣泛的應用。

 

　　四、應用領(lǐng)域

　　目前在許多領(lǐng)域中得到了廣泛的應用。其中，較大的應用領(lǐng)域是半導體制造和電子行業(yè)，在半導體制造過(guò)程中起著(zhù)至關(guān)重要的作用，能夠將高純度氣體輸送到反應室中，以滿(mǎn)足半導體制造的高要求。此外，還可用于真空蒸鍍、光學(xué)薄膜沉積等工業(yè)領(lǐng)域中。在科研領(lǐng)域中，則常用于各種氣體傳輸和實(shí)驗室氣體處理任務(wù)。

 

　　平流泵是一種重要的氣體輸送設備，具有低壓差、高流量、適用于低密度氣體等諸多優(yōu)勢，在半導體、能源、醫療和科研等領(lǐng)域中得到了廣泛的應用。